熱式質(zhì)量流量計(jì)
熱式質(zhì)量流量計(jì)（Theermal Mass flowmeters,簡(jiǎn)稱TMF）在國(guó)內(nèi)習(xí)慣稱為熱式流量計(jì)，是利用流體流過(guò)外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來(lái)測(cè)量流體質(zhì)量的一種流量?jī)x表。一般用來(lái)測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。具有壓損低；流量范圍度大；高精度、高重復(fù)性和高可靠性；無(wú)可動(dòng)部件以及可用于極低氣體流量監(jiān)測(cè)和控制等特點(diǎn)。
1.托馬斯流量計(jì)
2.
浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)
浸入型TMF是在原來(lái)熱線接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種堅(jiān)固型熱式質(zhì)量流量計(jì)，它解決了接觸式TMF在結(jié)構(gòu)上的缺陷，采用適用于工業(yè)應(yīng)用的堅(jiān)固的高可靠性傳感器，近二十多年來(lái)得到了很快的發(fā)展。
① 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)原理
② 浸入型熱式質(zhì)量流量的分類
③ 浸入型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
3.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)
從圖6-14的曲線可知，浸入型TMF工作在曲線的后半段，質(zhì)量流量與溫差ΔT成反比，不能用來(lái)測(cè)量微小流量。熱分布型TMF是近二十多年來(lái)發(fā)展起來(lái)的測(cè)量微小氣體流量的儀表。它工作在圖6-14曲線的前半段，在一定的流量范圍內(nèi)，質(zhì)量流量與溫差ΔT成正比，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制備、石油化工、冶金、制藥、原子能等工業(yè)中微小氣體流量測(cè)量。
① 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的原理
②熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的結(jié)構(gòu)與分類
③ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)
A.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的優(yōu)點(diǎn)
B.熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的缺點(diǎn)
熱分布型流量計(jì)的缺點(diǎn)是：
a. 對(duì)流量變化的響應(yīng)較慢，一般在2~4秒之間，少數(shù)產(chǎn)品可達(dá)0.5~1秒，而有些型號(hào)儀表的響應(yīng)時(shí)間長(zhǎng)達(dá)十幾秒。
b. 所使用的氣體組分變化較大時(shí)，因cp值和傳熱系數(shù)的變化，對(duì)流量測(cè)量會(huì)帶來(lái)較大的誤差。
c. 對(duì)于測(cè)量管內(nèi)徑很小的儀表，由于在管內(nèi)結(jié)垢和沉積等因素，容易造成堵塞。
d. 小流量測(cè)量時(shí)，儀表會(huì)給被測(cè)氣體帶來(lái)相當(dāng)?shù)臒崃俊?br>
④ 熱分布型熱式質(zhì)量流量計(jì)的使用
4.邊界層流量計(jì)
① 邊界層流量計(jì)測(cè)量原理
② 邊界層流量計(jì)存在的問(wèn)題
